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日本 HORIBA 堀場 電容式壓力計 VG-221S
絕對壓力測量對于包括半導體,FPD, HDD, PV和涂層在內的各種行業的真空工藝是至關重要的。
電容式壓力計從膜片的變形來確定總壓力,當膜片的兩側施加壓力差時,膜片發生形變。電容式壓力計較于其他方法的優點是:
• 高精度
• 壓力輸出對氣體的依賴較小
• 相對氣體的耐腐蝕性
微型自加熱設計
創新的電極結構帶來高性能和高穩定性
SUS316L隔膜
可從溫度控制 (55,100°C ) 或非加熱型選擇
一鍵調零
電源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 標準
日本 HORIBA 堀場 電容式壓力計 VG-221S
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