KASUGA 春日 靜電電位監(jiān)測器 KSD-0120

KASUGA 春日 靜電電位監(jiān)測器 KSD-0120

特征

一臺控制器最多可連接2通道寬電位傳感器（KS-2100），讓您以低成本構(gòu)建靜電監(jiān)測系統(tǒng)。

由于傳感器部件較小，因此可以安裝在各種制造設(shè)備內(nèi)的狹窄空間內(nèi)，并可以進(jìn)行連續(xù)監(jiān)控。

可以設(shè)置警報(bào)，因此如果超過設(shè)定的電位，可以與各種制造設(shè)備聯(lián)動。

配備了新開發(fā)的表面電位傳感器故障診斷電路，可以快速確認(rèn)由于沖擊等導(dǎo)致的傳感器故障，并將其輸出到外部。

它還可用于檢查和管理離子發(fā)生器的有效性。

通過切換量程，可以在從低電位到高電位的寬范圍內(nèi)進(jìn)行測量。

目的

監(jiān)控平板顯示器生產(chǎn)過程中的帶電量。

半導(dǎo)體晶圓電荷量監(jiān)控。

監(jiān)控LSI搬運(yùn)和印刷電路板運(yùn)輸過程中的帶電量。

規(guī)格

主體

?KASUGA 春日 離子發(fā)生器 KD-750BB /KD-750B?

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